2020年6月24日星期三/美国东部时间下午2:00
主持人:陈志林
3D NAND,又称垂直NAND,具有更高的密度和更低的位成本,由于制造商和供应商的不断创新和投资,3D NAND已经成为固态驱动器(SSD)普及的驱动力。9x层NAND设备目前在市场上普遍可用,1xx层NAND设备已批量生产一年。
在本次网络研讨会中,我们将比较主要制造商的9x层3D NAND设备:三星、KIOXIA/Western Digital、Intel/Micron和SK hynix。讨论了过程顺序,重点讨论了单词行pad(WLP),也称为楼梯。进一步考虑用于WLP的光刻掩模的使用,并对一个器件进行深入讨论,以提供对WLP形成的更清楚理解。
2020年6月24日星期三
2: 东部时间下午00点
持续时间约30分钟
关于主持人
专家谁将正在进行这个网络研讨会
陈志林
高级流程分析师
Chi Lim Tan是TechInsights工艺团队的高级分析师,他在平面和垂直闪存方面拥有丰富的经验。
在2019年加入TechInsights之前,Chi Lim曾与多家知名机构合作,包括SSMC(NXP-TSMC合资企业)、GLOBALFOUNDRIES、Micron和imec Belgium。