产品代码
AME-1804-803
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产品项代码
MIC-Z11B.
设备制造商
微米技术
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记忆 - NAND＆DRAM
渠道
记忆 - 过程
报告代码
AME-1804-803
用于DRAM芯片可交付的高级内存要素（AME）包括一个简洁的分析师的摘要文档，突出显示所观察到以下图像文件夹支持的关键尺寸和突出功能：
- 包装照片和X射线，顶部金属和多模头照片
- SEM斜面通过内存阵列和外围
- SEM横截面沿着一般器件结构，金属，电介质和电容器的字线和位线
- 两个或三个TEM横截面，与单词和位线正交，以及DRAM阵列的可能有效方向，显示DRAM电容器阵列，较低的金属和电介质，晶体管门，隔离和其他FEOL特征
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